晶圆、掩膜版单片清洗声清洗甩干机

设备名称	单片清洗机
用途	晶圆、掩膜版的清洗和甩干
操作方式	自动
适用领域	半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等
适用工艺	晶圆的RCA清洗、兆声清洗和甩干、二流体清洗、刷洗、旋涂等
清洗方式	旋流式冲洗喷嘴，兆声DIW清洗
可清洗尺寸	2寸--12寸晶圆
真空值	显示屏同步显示，可达≤-90KPa
兆声清洗	兆声频率280-950KHz可选，功率可调；
伺服电机	采用进口旋转电机，运行安静平稳，0- 3500RPM+转/秒加速仅需0.5秒
真空吸盘	采用PEEK、PTFE材质，强度高、耐腐蚀、密封性能好
载片台	采用真空吸附+PIN定位，防止甩片碎片
主体材质	不锈钢、PP、PVC
槽体材质	不锈钢、PP、PVDF
安全防护	自动安全门、漏液报警、声光报警系统
模块化设计
	满足客户多种工艺及产能的定制化要求
	可编程菜单，方便用户操作，直观
	实时流程显示，可控性强
	多级密码，方便管理，安全可靠
	自动保存生产数据
可实现功能	可装配装取片机器人
	可配置滚刷刷洗；
	化学液及纯水自动供应，流量可视可调
	可实现远程控制