半导体集成电路、MEMS、功率器件、LED芯片**溶剂清洗机

设备名称	**清洗机
用途	半导体、LED**清洗
操作方式	手动/半自动/自动
适用领域	半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等
适用工艺	**清洗 、IPA 、LIFT-OFF、去胶、声（兆声）清洗、QDR清洗等
清洗方式	槽式清洗
可清洗尺寸	2寸--12寸
药液供给	手动/自动
主体材质	不锈钢
槽体材质	不锈钢、NPP、石英
温控精度	±1℃
安全防护	自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统
模块化设计
	满足客户多种工艺及产能的定制化要求
	可编程菜单，方便用户操作，直观
	实时流程显示，可控性强
	多级密码，方便管理，安全可靠
	自动保存生产数据
	可实现远程控制
可实现功能	药液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、机械抛动、恒温系统、自动灭火等